仪器介绍：

全自动疵病检测仪采用环形多光束照明显微暗场成像原理，在多束高均匀高亮度照明下，激发被测表面疵病行成散射光，利用可变倍显微镜进行散射光的接收，采集到高分辨率的暗场显微散射图像，设备配备光学自准直定中仪，可针对球面、非球面、柱面元件进行自动定中调整以调节由于夹持引起的姿态偏差，保证扫描成像精度；配备高精度4维定中调整机构，可针对定中出的姿态偏差进行空间4维调整，保证元件的光轴和扫描机构的转轴重合；配备5轴高精密扫描机构包括XYZ三维平移，两维转动，可实现空间姿态的5维调整，保证平面、球面、非球面、柱面元件的高精度轨迹扫描。利用上述硬件可实现元件尺寸在≥100mm（平面）、≥60mm（球面、非球面、柱面）范围内的元件表面疵病的高精度成像，成像分辨率达0.5μm。成像后，可利用图像识别软件，自动提取划痕、麻点等疵病，同时可区分识别灰尘、麻点，避免灰尘对检测结果的影响，提取后，依据国际标准、国标等自动生成电子报表。

技术参 数：

1)  设备组成：显微散射暗场成像装置、元件夹持装置、元件定中调整装置、多轴扫描机构、光学定中、大理石支撑机构、测试服务器主机、空气净化室、定标板、工作台控制柜、打印机等组成。

2)  检测元件类型：平面、球面、非球面、柱面等复杂面形；

3)  检测分辨率（最小可见瑕疵）：0.5μm；

4)  最大有效测试口径范围： 120mm×120mm（方形平面元件）、φ70mm（圆形平面、球面、非球面、柱面元件）；

5)  检测元件最大厚度：30mm；

6)  检测对象范围：具有光滑表面的玻璃元件、金属、半导体表面；厚度小于5mm的透明光学元件内部缺陷（如气泡、杂质）等；

7)  成像方式：环形多光束照明显微散射暗场成像；

8)  检测方式：低倍率大口径全范围子孔径扫描检测，高倍率定量瑕疵宽度检测；

9)  扫描方式：依据平面、球面、非球面、柱面等复杂面形元件的面形方程并结合成像参数，自动规划生成扫描轨迹路径；

10) 系统承重：10Kg；

11) 扫描速度：平面≥7000mm²/min ；球面≥5000mm²/min ；

12) 光学定标板：定制离子束刻蚀定标板，刻线宽度范围：0.5μm-40μm；

13) 洁净度保证：局部百级空气净化室；

14) 元件夹持方式：方形零件采用可调节夹持座；圆形零件采用可调节自定心夹持架；夹持美观稳定可靠；

15) 光学定中方式：光学自准直定中，可有效检测球面元件球心、非球面元件的光轴、柱面元件的光轴空间位置，并可进行调整，消除元件夹持误差；

16) 平面元件调整方式：电动两维姿态调平，保证被测面与成像显微镜光轴严格垂直；

17) 系统定标检测重复性：最大偏差与均值的偏差不大于4%（线宽10μm时）；（用10μm标样测试10次计算偏差）；

18) 系统瑕疵检测复现性：要求输出的分析统计结果中表面瑕疵面积最大偏差与均值偏差小于6%；（用同个样品测试6次计算偏差）；

19) 检测结果输出方式：以word、excel格式输出检测元件的表面瑕疵并输出检测结果，检测结果包括瑕疵的图像、位置、尺寸，能够对表面瑕疵定标；

20) 检测标准的兼容性：可兼容国标GB/T1185-2006、国际标准ISO10110-7、美军标MIL-PRF-13830B光学零件表面疵病测试标准和用户自定义要求的输出统计标准。

应用领域：光学器件检测，半导体行业检测等，配合中心激光损伤参数测试仪，可以实现120mm大尺寸器件损伤疵病形貌测试。

仪器联系人：白老师  15201535063,联系座机：010-82178676